Прецизионная 3D- метрология поверхности cогласно Вашим требованиям

FRT GmbH – производитель многофункциональных метрологических  приборов для использования при разработках, в производстве и для контроля качества. Конструкция приборов основана на мультисенсорной концепции, что обеспечивает многообразность их применений. Как глобальный и надежный бизнес-партнёр мы обеспечиваем международный сервис и сопровождаем Вас в течение всего нашего сотрудничества.

Благодаря третьему поколению приборов серии MicroProf^®, фирма FRT с мультисенсорной метрологией поверхности занимает лидирующие позиции на рынке.

MicroProf^® позволяет быстро, эффективно и интуитивно решать разнообразные измерительные задачи. Как утверждённый стандартный измерительный прибор в современной 3D-метрологии, MicroProf^® уже много лет восхищает наших клиентов. Приборы применимы в таких разнообразных областях, как полупроводники, медицина, автоиндустрия. А также, в таких отраслях, как MEMS/NANO/MST, сапфир, фотовольтаика, машиностроение, оптика и производство упаковки.

• Мультисенсорная технология
• Гибридная метрология
• Разрешение до субнанометровой области
• Высокая надёжность и воспроизводимость
• Измерение по DIN-EN-ISO, SEMI и другим стандартам
• Ручной, полуавтоматический и автоматический режимы
• Смена и добавление функций на месте и в любой момент

MicroProf^® 100 — универсальный метрологический прибор для быстрого и лёгкого определения топографии, шероховатости, толщин слоёв и собственно образца. Как компактный настольный прибор, являющейся самым малогабаритным представителем серии МикроПроф^®, он также предлагает полный набор широких возможностей своих старших братьев по серии. Благодаря  мультисенсорной технологии ФРТ в одном универсальном приборе гибко объединены различные методы измерений, обычно требующие комбинации нескольких устройств, что позволяет экономить место и средства.

В качестве наиболее востребованной модели фирмы ФРТ  MicroProf^® 200 предлагает бесконтактную и неразрушающую характеристику практически всех поверхностей и слоев. Обладая прочной конструкцией и в высшей степени надёжными и долговечными компонентами, он предназначен для непрерывного применения в любых промышленных условиях.

Благодаря индивидуально конфигурируемой мультисенсорной концепции и обширному потенциалу для расширения измерительных и аналитических возможностей  MicroProf^® 200 решает не только актуальные измерительные задачи, но и хорошо подготовлен к грядущим вызовам.  При этом управление им интуитивно и легко.

MicroProf^® 300 предлагает еще более расширенные возможности по комплектации прибора, чем его младшие братья по серии. Автоматизированный прецизионный стол позволяет измерения более крупных образцов, а обширный выбор дополнительных датчиков облегчает оптимальное и индивидуальное приспособление прибора к Вашим задачам.

Для многих промышленных применений необходимо проведение полностью автоматических измерений с высокой производительностью. Для этой цели требуется автоматическое перемещение пластин. MicroProf® MHU специально спроектирован для полупроводниковой, MEMS и LED-промышленности и позволяет беспроблемно подстраиваться под различные типы изделий (пластин). Узел загрузки позволяет работать с пластинами от 2 до 12 дюймов. В зависимости от конфигурации может обрабатывать одновременно до 4-х кассет.

MicroProf^® FS полностью автоматизированный измерительный прибор для пластин, разработанный для широкого спектра применений в производствах пластин или MEMS содержащий как стандартные, так и индивидуальные решения. Благодаря исключительной многосторонности, MicroProf^® FS – незаменимый мастер на все руки на новейших производствах. Это просто индустриальная «звезда»!

MicroProf^® FE – стандартизированный полностью автоматизированный прибор для 2D- / 3D- измерений пластин. С полностью  SEMI-совместимыми метрологически решениями и практически не требующими обслуживания компонентами,  MicroProf^® FE – превосходная «рабочая лошадка» на каждом этапе транзисторного цикла (Front-End). Наряду со стандартной конфигурацией, прибор может быть оснащён многочисленными дополнительными функциями, устанавливаемыми при необходимости. Благодаря чему с MicroProf^® FE можно быстро развиваться, идя в ногу с технологическими достижениями, при этом снижая инвестиционные затраты!

MicroProf^® TL позволяет измерять горизонтальную и вертикальную деформацию образцов при термической нагрузке. В отличие от других моделей этой серии, MicroProf^® TL оснащен термоячейкой — встроенным модулем нагрева и охлаждения — и, опционально, двумерным датчиком деформации MicroDAC-2D от CWM. Посредством использования термоячейки можно исследовать поведение элементов структуры в «рабочих условиях» или имитировать производственные этапы при термонагрузке.

MicroProf® AP это полностью автоматизированный метрологический прибор для пластин, используемый для широкого спектра измерений при различных процессах 3D упаковки, например, для измерений фоторезистных (PR) покрытий и структурирований или сквозных отверстий сквозь кремний (TSV) или канавок после травления, μ-bumps и Cu pillars, а также измереня в процессах утончения, склеивания и укладки. С учетом высочайшей гибкости и универсальности, благодаря модульной мульти-сенсорной концепции, прибор идеально приспособлен для широкого спектра измерительных задач в Продвинутой упаковке.