Прецизионная 3D- метрология поверхности cогласно Вашим требованиям

FRT GmbH – производитель многофункциональных метрологических  приборов для использования при разработках, в производстве и для контроля качества. Конструкция приборов основана на мультисенсорной концепции, что обеспечивает многообразность их применений. Как глобальный и надежный бизнес-партнёр мы обеспечиваем международный сервис и сопровождаем Вас в течение всего нашего сотрудничества.

Благодаря третьему поколению приборов серии MicroProf®, фирма FRT с мультисенсорной метрологией поверхности занимает лидирующие позиции на рынке.

MicroProf® позволяет быстро, эффективно и интуитивно решать разнообразные измерительные задачи. Как утверждённый стандартный измерительный прибор в современной 3D-метрологии, MicroProf® уже много лет восхищает наших клиентов. Приборы применимы в таких разнообразных областях, как полупроводники, медицина, автоиндустрия. А также, в таких отраслях, как MEMS/NANO/MST, сапфир, фотовольтаика, машиностроение, оптика и производство упаковки.

  • Мультисенсорная технология
  • Гибридная метрология
  • Разрешение до субнанометровой области
  • Высокая надёжность и воспроизводимость
  • Измерение по DIN-EN-ISO, SEMI и другим стандартам
  • Ручной, полуавтоматический и автоматический режимы
  • Смена и добавление функций на месте и в любой момент

Компактный настольный прибор MicroProf® 100

  • компактный настольный прибор

  • 100 мм x 150 мм область измерений (горизонтальная)

  • высокая скорость измерений, макс. 200 мм/с

  • ручные и автоматические измерения и анализ

  • индивидуально конфигурируемый

  • TTV-опция для двусторонних измерений

MicroProf® 100 — универсальный метрологический прибор для быстрого и лёгкого определения топографии, шероховатости, толщин слоёв и собственно образца. Как компактный настольный прибор, являющейся самым малогабаритным представителем серии МикроПроф®, он также предлагает полный набор широких возможностей своих старших братьев по серии. Благодаря  мультисенсорной технологии ФРТ в одном универсальном приборе гибко объединены различные методы измерений, обычно требующие комбинации нескольких устройств, что позволяет экономить место и средства.

Скачать описание

200 mm Международный стандарт FRT MicroProf® 200

  • стационарный прибор

  • 200 мм x 250 мм область измерений (горизонтальная)

  • высокая производительность, макс. скорость измерений 300 мм/с

  • стандартная версия – установлены сотни во всём мире

  • полностью автоматизированный и интегрируемый в полностью автоматизированный производственный процесс прибор (опция)

  • индивидуально конфигурируемый

В качестве наиболее востребованной модели фирмы ФРТ  MicroProf® 200 предлагает бесконтактную и неразрушающую характеристику практически всех поверхностей и слоев. Обладая прочной конструкцией и в высшей степени надёжными и долговечными компонентами, он предназначен для непрерывного применения в любых промышленных условиях.

Благодаря индивидуально конфигурируемой мультисенсорной концепции и обширному потенциалу для расширения измерительных и аналитических возможностей  MicroProf® 200 решает не только актуальные измерительные задачи, но и хорошо подготовлен к грядущим вызовам.  При этом управление им интуитивно и легко.

Скачать описание

300 mm Большие возможности MicroProf® 300

  • стационарный прибор

  • область измерений 415 мм x 305 мм (горизонтально)

  • высокая производительность, макс. скорость 300 мм/с

  • полностью автоматизированный и интегрируемый производственный прибор (опция)

  • индивидуально конфигурируемый

MicroProf® 300 предлагает еще более расширенные возможности по комплектации прибора, чем его младшие братья по серии. Автоматизированный прецизионный стол позволяет измерения более крупных образцов, а обширный выбор дополнительных датчиков облегчает оптимальное и индивидуальное приспособление прибора к Вашим задачам.

Скачать описание

Полностью автоматические измерения MicroProf® MHU

  • автозагрузчик с двуруким роботом

  • высокая производительность, до 200 пластин в час

  • загрузочная станция для открытых кассет

  • оптический считыватель / предпозиционер

  • функция сортировки «плохой-хороший»

  • интерфейс SECS/GEM (опция)

Для многих промышленных применений необходимо проведение полностью автоматических измерений с высокой производительностью. Для этой цели требуется автоматическое перемещение пластин. MicroProf® MHU специально спроектирован для полупроводниковой, MEMS и LED-промышленности и позволяет беспроблемно подстраиваться под различные типы изделий (пластин). Узел загрузки позволяет работать с пластинами от 2 до 12 дюймов. В зависимости от конфигурации может обрабатывать одновременно до 4-х кассет.

Скачать описание

Все задачи MEMS и Foundry MicroProf® FS

  • мультисенсорная технология и гибридная метрология для MEMS и Foundry

  • конфигурируемость для многих областей применения в производстве пластин

  • стандартные и индивидуальные решения

  • наивысшая гибкость

  • обработка различных типов подложек

  • высокопроизводительное ПО для автоматизированных 2D- и 3D-измерений

  • оборудован модулем Front-End (EFEM)

MicroProf® FS полностью автоматизированный измерительный прибор для пластин, разработанный для широкого спектра применений в производствах пластин или MEMS содержащий как стандартные, так и индивидуальные решения. Благодаря исключительной многосторонности, MicroProf® FS – незаменимый мастер на все руки на новейших производствах. Это просто индустриальная «звезда»!

Скачать описание

MicroProf® FE

  • полностью автоматизированная 2D- и 3D- метрология поверхности для применений в транзисторном цикле (Front-End)

  • мультисенсорная технология на базе MicroProf® 300

  • специфические решения для поточного производства

  • модуль перемещения пластин

  • оборудован модулем Front-End (EFEM)

MicroProf® FE – стандартизированный полностью автоматизированный прибор для 2D- / 3D- измерений пластин. С полностью  SEMI-совместимыми метрологически решениями и практически не требующими обслуживания компонентами,  MicroProf® FE – превосходная «рабочая лошадка» на каждом этапе транзисторного цикла (Front-End). Наряду со стандартной конфигурацией, прибор может быть оснащён многочисленными дополнительными функциями, устанавливаемыми при необходимости. Благодаря чему с MicroProf® FE можно быстро развиваться, идя в ногу с технологическими достижениями, при этом снижая инвестиционные затраты!

Скачать описание

Измерения при термической нагрузке Highlights MicroProf® TL

    • оптическая метрология поверхности при различных температурах образца

    • программируемый контроль температуры

    • от -80° до 400°C

    • высокая скорость нагрева-охлаждения

    • температурная стабильность: < 1°C

    • полностью автоматизирован

MicroProf® TL позволяет измерять горизонтальную и вертикальную деформацию образцов при термической нагрузке. В отличие от других моделей этой серии, MicroProf® TL оснащен термоячейкой — встроенным модулем нагрева и охлаждения — и, опционально, двумерным датчиком деформации MicroDAC-2D от CWM. Посредством использования термоячейки можно исследовать поведение элементов структуры в «рабочих условиях» или имитировать производственные этапы при термонагрузке.

Скачать описание

Мульти-сенсорная метрология для Продвинутой Упаковки MicroProf® AP

  • многофункциональная мульти-сенсорная метрология для Продвинутой Упаковки

  • для всех уровней процессов: от TSV etching, RDL/UBM/bumping до Cu nail reveal, dicing, stacking and molding

  • модуль перемещения пластин c SEMI-стандартом FOUP’s/FOSBs и открытыми кассетами

  • индивидуальная конфигурация под ваши специфические потребности

  • переоборудование при необходимости

MicroProf® AP это полностью автоматизированный метрологический прибор для пластин, используемый для широкого спектра измерений при различных процессах 3D упаковки, например, для измерений фоторезистных (PR) покрытий и структурирований или сквозных отверстий сквозь кремний (TSV) или канавок после травления, μ-bumps и Cu pillars, а также измереня в процессах утончения, склеивания и укладки. С учетом высочайшей гибкости и универсальности, благодаря модульной мульти-сенсорной концепции, прибор идеально приспособлен для широкого спектра измерительных задач в Продвинутой упаковке.

Скачать описание
Скачать описание процесса